在眾多變壓吸附制氧流程中，大體上可歸納為PSA、VSA、VPSA三種。PSA即超大氣壓吸附常壓解吸流程，優(yōu)點(diǎn)是機(jī)組簡(jiǎn)單且對(duì)分子篩要求低，缺點(diǎn)是能耗太高，宜在小型設(shè)備上使用；VSA即大氣壓吸附真空解吸流程，優(yōu)點(diǎn)是能耗低，缺點(diǎn)是設(shè)備相對(duì)復(fù)雜，總投資昂貴；VPSA即穿透大氣壓真空解吸流程，優(yōu)點(diǎn)是能耗較低，分子篩利用率高，設(shè)備總投資相對(duì)于VSA流程要低得多，缺點(diǎn)是對(duì)分子篩和閥門的要求相對(duì)較高。